飞秒激光微加工技术在光通信及医学领域的应.蹭飞

1飞秒微结构

基于能量高度集中、热影响区小、无飞溅无熔渣、不需特殊的气体环境、无后续工艺、双光子聚合加工精度可达0．7 m等优势，在诱导金属微结构加工应用方面和精细加工方面都取得了很大的进展。

(1)孔加工在1mm厚的不锈钢薄片上，飞秒进行了具有深孔边缘清晰、表面干净等特点的纳米级深孔加工(如图1a)；在金属薄膜上，钛宝石飞秒激光加工制备出了微纳米级阵列孔(如图1b)，孔径最小达2.5 m，孔直径在2．5～10 m间可调，最小间距可达10 m，很容易实现 m间距调整。

(2)金属材料表面改性1999年，德国汉诺威激光中心NolteS等人首次报道了结合钛宝石飞秒激光三倍频光(260nm)和SNOM(扫描近场光学显微镜)在金属镉层制出了线宽仅200nm的凹槽。为以后的无孔径近场扫描光学显微镜(ANSOM)取代SNOM奠定了基础，获得了高达70nm的空间分辨率，开拓了远场技术在纳米范围下的物理化学特性以及输运机制的研究。

( )金属纳米颗粒加工自199 年HengleinA等人首次利用激光消融法制备金属纳米颗粒以来，许多研究小组制备出高纯度、粒度分布均匀的金属纳米颗粒。LinkH等人进一步控制飞秒激光的能流密度和照射时间，将金属纳米棒完全融化为金属纳米点。与其它相比，飞秒激光改变的金属颗粒尺寸大小和特定形状，使金属纳米颗粒特别是贵金属(Au、Hg、Pt、Pd等)在催化、非线性光学、医用材料科学等领域具有广阔的应用前景。

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